英特爾公司於今（9/13）日宣佈，已同意將IMS Nanofabrication事業（IMS）約10%的股份出售給台積電。這筆交易對IMS Nanofabrication的估值約為43 億美元，與最近出售給貝恩資本（Bain Capital）的股權估值一致。英特爾仍將保留IMS的多數股權，而IMS會在執行長Elmar Platzgummer博士的領導下繼續以獨立子公司型態營運。此次股權交易預計將於2023年第四季完成。 

IMS是開發先進極紫外光（EUV）所需的多重電子束光罩寫入工具領導廠商，此工具廣泛應用於支持最嚴苛運算應用的前沿技術節點，例如人工智慧（AI）和行動應用。貝恩資本和台積電的投資，增加了IMS的獨立性，深化IMS面對未來重要發展機會的信心。投資挹注有助於增強IMS的自主性，加速企業發展，推動下一階段的微影技術創新、例如高數值孔徑（high-NA）極紫外光，引領產業朝向新型圖案化（patterning）系統轉型。 

英特爾企業發展資深副總裁 Matt Poirier 表示，「這項投資展現了IMS正在開拓深入的產業合作，以推進關鍵節點的關鍵微影技術，惠及整個半導體製造生態系。隨著獨立性的增強，IMS將蓄勢待發應對未來十多年多重電子束光罩寫入工具的重大發展機會。」 

IMS執行長Platzgummer表示，「我們很高興能引入新的投資者，幫助我們鞏固IMS在多重電子束光罩寫入領域的領導地位，這項技術也是前沿半導體科技創新的骨幹。這也充分證明了在這個不可或缺的技術領域中，IMS具備的專業知識和領導地位。我們也期待攜手合作夥伴，繼續支持下一代技術的創新，為整個半導體生態系帶來價值。」 

台積電（TSMC）業務開發資深副總經理張曉強（Kevin Zhang）表示，「台積電自2012年以來持續與IMS合作開發用於先進技術節點的多重電子束光罩寫入工具。這項投資延續了台積電與IMS之間的長期合作夥伴關係，以加速創新並深化跨產業的合作機會。」 

在各項應用要求愈來愈高的時代，IMS在推動半導體產業的發展和進步方面扮演關鍵角色。全球半導體需求在人工智慧、普及連接、普及運算、雲端到邊緣基礎架構、感測等五大推力驅動下持續增長，市場規模預計將在2030年達到1兆美元。極紫外光微影製程的進步更是實現發展目標的關鍵因素；對於完善這些嚴格應用的前沿節點來說，也不可或缺。微影技術的進步仰賴複雜的光罩寫入工具，IMS的領先技術由此成為整個生態系創新的核心。 

英特爾最初在2009年投資IMS，並在2015年收購剩餘股權。自收購以來，IMS為英特爾帶來了可觀的投資報酬，同時IMS的員工人數和產能增長了四倍，並交付了三代產品。2023年6月，英特爾宣佈同意將IMS約20%股份出售給貝恩資本。